行程(mm) *
外型尺寸(mm)
重量(kg)
承重(kg)
测量精度 XY轴 **
Z轴 ***
速度 XY轴
Z轴
光栅尺
导轨
图像传感器
光源 轮廓光
可升降表面光
同轴光
光学镜头
放大倍率 ****
软件
运动控制
保修期
工作环境
电源
VMU222 VMU322 VMU432
200×200×200 300×200×200 400×300×200
1040×740×1620 1040×740×1620 1240×800×1620
240 250 310
25 25 25
E2=(1.5+L/300)μm E2=(1.9+L/300)μm
E1=(5.0+L/200)μm
500mm/S
100mm/S
0.1μm Renishaw光栅尺
THK
高清晰彩色工业摄像机
LED冷光源,256级亮度可调
3内环3外环8区LED冷光源,各段独立操作,256级亮度可调,外3环可程控升降,提供45°到75°多种落射角度照明
LED冷光源,256级亮度可调
12.5:1连续变倍
光学放大倍率:0.6~7.5×;影像放大倍率:18~230×
Vispec测量软件(VMU版)
自主专利的CNC直流伺服系统
1年
温度20℃±2℃,湿度30~80%;
振动<0.002g,低于15Hz
200~240Vac ,50/60Hz,单相,700W

* Z轴标配有效测量行程135mm,可加高至300mm。

** L表示测量长度,以毫米为单位。

*** Z轴的机械精度,聚焦的精度与工件表面有很大关系。

**** 放大倍率为近似值,具体指与显示器的尺寸以及显示器的分辨率相关;客户可根据需求选配0.5×或2×附加镜,实现影像放大倍率9~115×或36~460×。

  • 1.5μm

    最高测量精度1.5μm

  • 0.1μm

    0.1μm雷尼绍金属光栅尺

  • 12.5:1

    12.5:1连续变倍镜头

  • 超精密全自动测量,四轴CNC控制
  • TZTEK自动变倍光学镜头,可实现自动变倍测量
  • 精密花岗岩机台,精度高、稳定性好
  • 程控式6环8区环形表面光源,LED轮廓光源,同轴光源
  • 三轴THK精密直线导轨、精密传动系统
  • 自动对焦测高,可加装接触式测头
  • Renishaw开放式光栅尺,精度高、稳定性好
  • 提供多种行程规格配置,如222、322、432等
行程(mm) *
外型尺寸(mm)
重量(kg)
承重(kg)
测量精度 XY轴 **
Z轴 ***
速度 XY轴
Z轴
光栅尺
导轨
图像传感器
光源 **** 轮廓光
表面光
光学镜头
放大倍率 *****
软件
运动控制
保修期
工作环境
电源
VMC222 VMC322 VMC432
200×200×200 300×200×200 400×300×200
1040×740×1620 1040×740×1620 1240×800×1620
240 250 310
25 25 25
E2=(2.2+L/200)μm E2=(2.6+L/200)μm
E1=(5.0+L/200)μm
500mm/S
100mm/S
0.4μm Renishaw 光栅尺
Hiwin
高清晰彩色工业摄像机
LED冷光源,256级亮度可调
6环8区LED冷光源,各段独立操控,256级亮度可调
6.5:1连续变倍
光学放大倍率:0.7~4.5×;影像放大倍率:21~138×
Vispec测量软件(VMC版)
自主专利的CNC直流伺服系统
1年
温度20℃±2℃,湿度30~80%
振动<0.002g,低于15Hz
200~240Vac ,50/60Hz,单相,700W

* Z轴标配有效测量行程135mm,可加高至300mm。

** L表示测量长度,以毫米为单位。

*** Z轴的机械精度,聚焦的精度与工件表面有很大关系。

**** 同轴光可选配,技术参数同轮廓光。

***** 放大倍率为近似值,具体指与显示器的尺寸以及显示器的分辨率相关;客户可根据需求选配0.5×或2×附加镜,实现影像放大倍率10.5~69×或42~276×。

  • 1.5μm

    最高测量精度1.5μm

  • 0.1μm

    0.1μm雷尼绍金属光栅尺

  • 12.5:1

    12.5:1连续变倍镜头

  • 超精密全自动测量,四轴CNC控制
  • TZTEK自动变倍光学镜头,可实现自动变倍测量
  • 精密花岗岩机台,精度高、稳定性好
  • 程控式6环8区环形表面光源,LED轮廓光源,同轴光源
  • 三轴THK精密直线导轨、精密传动系统
  • 自动对焦测高,可加装接触式测头
  • Renishaw开放式光栅尺,精度高、稳定性好
  • 提供多种行程规格配置,如222、322、432等
行程(mm)*
外型尺寸(mm)
重量(kg)
承重(kg)
测量精度 XY轴**
Z轴***
速度 XY轴
Z轴
光栅尺
导轨
图像传感器
光源**** 轮廓光
表面光
光学镜头
放大倍率*****
软件
运动控制
保修期
工作环境
电源
VME222 VME322 VME432
200×200×200 300×200×200 400×300×200
1040×740×1620 1040×740×1620 1240×800×1620
240 250 310
25 25 25
E2=(2.6+L/200)μm E2=(3.0+L/200)μm
E1=(5.0+L/200)μm
500mm/S
100mm/S
1.0μm Renishaw 光栅尺
Hiwin
高清晰彩色工业摄像机
LED冷光源,256级亮度可调
6环8区LED冷光源,各段独立操控,256级亮度可调
TZTEK电子卡位镜头,6.5:1连续变倍
光学放大倍率:0.7~4.5×;影像放大倍率:28~184×
Vispec测量软件(VME版)
自主专利的CNC直流伺服系统
1年
温度20℃±2℃,湿度30~80%
振动<0.002g,低于15Hz
200~240Vac ,50/60Hz,单相,700W

* Z轴标配有效测量行程135mm,可加高至300mm。

** L表示测量长度,以毫米为单位。

*** Z轴的机械精度,聚焦的精度与工件表面有很大关系。

**** 同轴光可选配,技术参数同轮廓光。

***** 放大倍率为近似值,具体指与显示器的尺寸以及显示器的分辨率相关;客户可根据需求选配0.5×或2×附加镜,实现影像放大倍率14~92×或56~368×。

  • 1.5μm

    最高测量精度1.5μm

  • 0.1μm

    0.1μm雷尼绍金属光栅尺

  • 12.5:1

    12.5:1连续变倍镜头

  • 超精密全自动测量,四轴CNC控制
  • TZTEK自动变倍光学镜头,可实现自动变倍测量
  • 精密花岗岩机台,精度高、稳定性好
  • 程控式6环8区环形表面光源,LED轮廓光源,同轴光源
  • 三轴THK精密直线导轨、精密传动系统
  • 自动对焦测高,可加装接触式测头
  • Renishaw开放式光栅尺,精度高、稳定性好
  • 提供多种行程规格配置,如222、322、432等
行程(mm)
外型尺寸(mm)
重量(kg)
承重(kg)
测量精度*
光栅尺
导轨
图像传感器
光源** 轮廓光
表面光
光学镜头
放大倍率***
软件
工作距离
保修期
工作环境
电源
VMA2515 VMA3020 VMA4030
250×150×150 300×200×200 400×300×200
640×690×800 680×840×950 830×990×950
160 220 355
25
E2(X/Y)=(3.0+L/200)μm E2(X/Y)=(3.5+L/200)μm
1.0μm光栅尺
交叉滚子导轨
高清晰彩色工业摄像机
LED冷光源,256级亮度可调
LED冷光源,256级亮度可调
TZTEK电子卡位镜头,6.5:1变倍范围
光学放大倍率:0.7~4.5×;影像放大倍率:28~184×
Vispec测量软件(VMA版)
92mm(配2倍物镜时为36mm)
1年
温度20℃±2℃,湿度30~80%
振动<0.002g,低于15Hz
100~240V,50/60Hz , 单相 , 100W

* L表示测量长度,以毫米为单位。

** 同轴光可选配,技术参数同轮廓光。

*** 放大倍率为近似值,具体指与显示器的尺寸以及显示器的分辨率相关;客户可根据需求选配0.5×或2×附加镜,实现影像放大倍率14~92×或56~368×。

  • 1.5μm

    最高测量精度1.5μm

  • 0.1μm

    0.1μm雷尼绍金属光栅尺

  • 12.5:1

    12.5:1连续变倍镜头

  • 超精密全自动测量,四轴CNC控制
  • TZTEK自动变倍光学镜头,可实现自动变倍测量
  • 精密花岗岩机台,精度高、稳定性好
  • 程控式6环8区环形表面光源,LED轮廓光源,同轴光源
  • 三轴THK精密直线导轨、精密传动系统
  • 自动对焦测高,可加装接触式测头
  • Renishaw开放式光栅尺,精度高、稳定性好
  • 提供多种行程规格配置,如222、322、432等
行程(mm)
外型尺寸(mm)
重量(kg)
承重(kg)
测量精度 XY轴*
Z轴**
速度 XY轴
Z轴
光栅尺
导轨
图像传感器
光源 轮廓光
表面光
同轴光***
光学镜头
放大倍率****
软件
运动控制
保修期
工作环境
电源
VMG452 VMG672 VMG8102 VMG10122 VMG12162
400×500×250 600×700×250 800×1000×250 1000×1200×250 1200×1600×250
1532×1255×1717 1732×1455×1717 1985×1605×1717 2412×1915×1747 2812×2115×1747
1465 1890 2550 3650 4660
80 60
E2=(2.5+L/200)μm E2=(3.0+L/200)μm E2=(4.0+L/200)μm
E1=(5.0+L/200)μm
400 mm/s
100 mm/s
0.1 μm Renishaw光栅尺
THK
高清晰彩色工业摄像机
LED冷光源,256级亮度可调
6环8区LED冷光源,各段独立操控,256级亮度可调
LED冷光源,256级亮度可调
6.5:1连续变倍(选配12.5:1连续变倍)
光学放大倍率:0.7~4.5×;影像放大倍率:21~128×
Vispec测量软件(VMG版)
自主专利的CNC直流伺服系统
1年
温度20℃±2℃,湿度30~80%
振动<0.002g,低于15Hz
200~240Vac ,50/60Hz,单相,700W

* L表示测量长度,以毫米为单位。

** Z轴的机械精度,聚焦的精度与工件表面有很大关系。

*** 同轴光可选配,技术参数同轮廓光。

**** 放大倍率为近似值,具体指与显示器的尺寸以及显示器的分辨率相关;客户可根据需求选配0.5×或2×附加镜;光学放大倍率0.6~7.5×,影像放大倍率18~230×;

  • 1.5μm

    最高测量精度1.5μm

  • 0.1μm

    0.1μm雷尼绍金属光栅尺

  • 12.5:1

    12.5:1连续变倍镜头

  • 超精密全自动测量,四轴CNC控制
  • TZTEK自动变倍光学镜头,可实现自动变倍测量
  • 精密花岗岩机台,精度高、稳定性好
  • 程控式6环8区环形表面光源,LED轮廓光源,同轴光源
  • 三轴THK精密直线导轨、精密传动系统
  • 自动对焦测高,可加装接触式测头
  • Renishaw开放式光栅尺,精度高、稳定性好
  • 提供多种行程规格配置,如222、322、432等
行程(mm)
外型尺寸(mm)
重量(kg)
承重(kg)
图像传感器
镜头
视野
测量精度
光栅尺
最小显示单位
景深
Z轴有效行程
光源 轮廓光*
表面光
同轴光
图像处理
工作台升降范围
软件
工作环境
电源
VMQ100
100×100
485×235×579
30
3
工业专用高分辨率相机
双远心双倍率光学镜头
φ100 / 20×20(mm)
5 / 2μm
0.5μm Renishaw 光栅尺
0.1(μm)
24 / 1.4(mm)
47 / 35(mm)
平行轮廓光(绿色LED)
程控式可升降2环4区白色LED冷光源多角度照明,各段独立控制,256级亮度可调
选配,外置同轴光视野50×50mm
TZTEK先进图像分析方法,256灰度等级,10:1亚像素处理技术
35(mm)
Vispec测量软件(VMQ版)
温度20°C±2°C,湿度30~80%
振动<0.002g,低于15Hz
100~240V,50/60Hz,单相,100W

*轮廓光可选配:散射轮廓光(绿色LED)。

  • 1.5μm

    最高测量精度1.5μm

  • 0.1μm

    0.1μm雷尼绍金属光栅尺

  • 12.5:1

    12.5:1连续变倍镜头

  • 超精密全自动测量,四轴CNC控制
  • TZTEK自动变倍光学镜头,可实现自动变倍测量
  • 精密花岗岩机台,精度高、稳定性好
  • 程控式6环8区环形表面光源,LED轮廓光源,同轴光源
  • 三轴THK精密直线导轨、精密传动系统
  • 自动对焦测高,可加装接触式测头
  • Renishaw开放式光栅尺,精度高、稳定性好
  • 提供多种行程规格配置,如222、322、432等
行程(mm)
外型尺寸(mm)
重量(kg)
承重(kg)
图像传感器
镜头
视野
测量精度
光栅尺分辨率
最小显示单位
景深
Z轴有效行程
光源 轮廓光*
表面光
图像处理
运动控制
软件
工作环境
电源
VMQ432
400×300×200
1240×900×1800
430
25
工业专用高分辨率相机
双远心双倍率光学镜头
φ100 / 20×20(mm)
5/(6+L/200) / 2/(3+L/200)μm
0.4μm Renishaw 光栅尺
0.1(μm)
24 / 1.4(mm)
212 / 200(mm)
平行轮廓光(绿色LED)
程控式2环4区白色LED冷光源多角度照明,各段独立控制,256级亮度可调
TZTEK先进图像分析方法,256灰度级,10:1亚像素处理技术
自主专利的CNC直流伺服系统
Vispec测量软件(VMQ版)
温度20°C±2°C,湿度30~80%
振动<0.002g,低于15Hz
200~240V,50/60Hz,单相,700W

*  轮廓光可选配:散射轮廓光(绿色LED)

  • 1.5μm

    最高测量精度1.5μm

  • 0.1μm

    0.1μm雷尼绍金属光栅尺

  • 12.5:1

    12.5:1连续变倍镜头

  • 超精密全自动测量,四轴CNC控制
  • TZTEK自动变倍光学镜头,可实现自动变倍测量
  • 精密花岗岩机台,精度高、稳定性好
  • 程控式6环8区环形表面光源,LED轮廓光源,同轴光源
  • 三轴THK精密直线导轨、精密传动系统
  • 自动对焦测高,可加装接触式测头
  • Renishaw开放式光栅尺,精度高、稳定性好
  • 提供多种行程规格配置,如222、322、432等